甘肃省传感技术工程研究中心

2012年9月甘肃省传感技术工程研究中心（以下简称“工程中心”）成立，工程中心坚持“市场需求牵引、重点突破导向、把握共性关键、重构研发平台、完善创新机制”的原则，持续开发新产品新用途，研发高端MEMS传感器，促进传感器及传感技术在安全、健康、生物、医药、工业等领域的应用。

基于自旋电子技术的巨磁阻MEMS传感器是目前最灵敏的磁敏传感器。目前，该类传感器已被发达国家应用于军工及高端车辆，国内的研发及产业刚刚开始。因此，工程中心以巨磁阻MEMS传感器为主要研发方向，面向市场应用端，着力解决巨磁阻MEMS传感器的关键技术研发和应用的国产化问题。

工程中心随后根据学科发展需求，成功引进来自美国硅谷的MEMS传感器专家及其拥有的MEMS传感器技术。以巨磁阻传感器为突破口，进行磁性纳米材料、巨磁阻传感器的研发和应用的研究工作。历经八年艰苦攻关，培养了一支创新能力较强的科研团队，筹建了一条国际先进的MEMS传感器研发线，在自旋电子理论、传感器核心结构设计、器件研发、MEMS工艺技术研发、新型材料研发等方面，取得了一系列关键性突破和系统化进展，成果显著，主要成果包括7项：

用于磁开关、磁通门的巨磁阻MEMS磁强度传感器；

用于测量叶轮、齿轮转速的巨磁阻MEMS转速传感器；

用于穿戴设备的磁耦合传感器；

用于生物医药领域的纳米磁珠系列产品；

用于肿瘤、病毒检测的生物芯片。

其中，转速传感器正在原研发线上进行中试试验；磁强度传感器和磁耦合传感器也已达到中试的程度。