MEMS传感器研究

定位于自旋电子技术新兴交叉研究方向，包括自旋电子微纳加工平台及自旋电子设计与仿真平台，致力于自旋电子相关的传感芯片技术与存储芯片技术，开发各类磁传感器并最终实现小批量生产，推动集成电路相关产业发展。拥有完整的6英寸MEMS研发线，以巨磁阻传感器为突破口，成功研发出了巨磁阻MEMS磁强度传感器、巨磁阻MEMS转速传感器、高频信号耦合器、生物传感器等。