甘肃省传感器与传感技术重点实验室简介

甘肃省传感器与传感技术重点实验室（以下简称“重点实验室”）依托甘肃省科学院传感技术研究所，于2014年批准成立，主管部门甘肃省科技厅。

重点实验室确立了“微机电(MEMS)传感器”为主要科研方向，着重发展基于自旋电子效应的巨磁阻MEMS传感器，及相关的敏感材料、传感器的系统集成等领域的研发工作。

重点实验室现有固定工作人员50余人，其中，正高级职称人员4人，副高级职称人员8人，中级职称人员15人，具有博士学位4人。甘肃省学科带头人、甘肃省优秀专家、省“555”人才工程等2人。形成了一支以中青年为主、结构合理、创新能力较强的MEMS科研团队。

重点实验室现有建筑面积2200平方米，拥有百级洁净实验室、多功能分子生物学实验室、生物医药纳米材料实验室/中试线等多个先进的实验室，购置了激光直写机、曝光机、等离子体刻蚀机、等离子增强型化学气相淀积仪、电子束蒸镀仪、振动样品磁强计等三十余台套进口仪器设备，形成了一条先进的磁性材料及MEMS传感器研发线。

重点实验室以基于自旋电子技术的巨磁阻MEMS传感器为突破口，通过近十年的艰苦攻关，成功将引进的技术转化落地，取得了一系列的关键性技术突破和系统化进展，在自旋电子理论、传感器核心结构设计、MEMS工艺技术研发以及MEMS器件研发、生物医用纳米材料等方面取得了较为显著的成果。先后承担国家级、省部级、地市级等各类项目80余项；获甘肃省科技进步二等奖1项，甘肃省科技进步三等奖3项，甘肃省自然科学奖三等奖1项；授权发明专利10余件，软件著作权10余件，发表SCI论文50余篇。

除基础研究外，重点实验室重视科技成果的转化和推广应用，先后与10多家省内外科技型企业合作，有10余项新技术、新产品、新工艺实现产业化，产生了显著经济效益和社会效益。